绿菱气体2月19日音讯显现，龙年新春伊始，天津绿菱气体公司又接到好音讯——绿菱气体的高纯溴化氢产品经过了华力微、华虹宏力等认证，行将开端批量供给。

　　据介绍，高纯溴化氢（HBr）作为半导体掺磷的n型多晶硅、掺磷的单晶硅或许二维半导体的刻蚀气体，是氟碳类气体代替产品的首选，其首要运用在于8寸及12寸芯片制作工艺中的多晶硅刻蚀，是芯片先进制程的中心气体之一。2023年之前，国内HBr商场长时间被进口产品独占。

　　绿菱气体指出，其出产的HBr现已经过长江存储、中芯世界、华虹宏力、华力微、华力集、青岛芯恩、芯联集成等企业认证，并完结安稳供给。一起，还有多家国内闻名晶圆厂正在对绿菱的HBr做验证，估计2024年度开端批量供货。至此，绿菱气体已成功完结高纯HBr的国产代替，为国内半导体终端用户供给较为牢靠的质料支撑。

　　据悉，绿菱气体自2001年建立以来，致力于为集成电路、平板显现、半导体照明、光伏电池资料以及光纤等职业供给各种高纯度特种气体产品与服务，先后在天津、平顶山等地建立了出产基地，首要出产电子级C2F6、C4F8、CF4、CH2F2、N2O、COS等特种气体产品。（校正/韩秀荣）

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